冶金法论文

论文摘要冶金法制备多晶硅过程中,通过对不同退火温控方案进行数学建模,探求优化的退火理论温度控制函数与曲线。数学模型表明,对硅铸锭直接进行保温,依靠自然热平衡退火,会使内部应力大...