质量刚度解耦论文

基于质量刚度解耦的三波腹嵌套环MEMS陀螺结构优化设计
论文摘要相比于经典的二波腹嵌套环式MEMS陀螺,三波腹嵌套环式MEMS陀螺具有工作频率高,抗干扰能力强等一系列优点,但是由于其工作频率高,环谐振状态下的热弹性损耗随之提高。针对...