• 声速对硅基氮化铝复合声子晶体带隙影响

    声速对硅基氮化铝复合声子晶体带隙影响

    论文摘要该文基于布喇格散射机理,采用有限元仿真技术重点研究材料声速对二维AlN/B/Si复合声子结构体带隙特性的影响。首先以Mo作为B层,逐次分析AlN、AlN/Mo、AlN/...
  • 后退火对射频磁控溅射法制备Mg掺杂Ga2O3薄膜性质的影响

    后退火对射频磁控溅射法制备Mg掺杂Ga2O3薄膜性质的影响

    论文摘要本文采用双靶材交替溅射的射频磁控溅射法生长了高质量的Mg掺杂氧化镓薄膜,并将制备的样品在1000℃条件下进行后退火处理,以研究退火前后Mg掺杂Ga2O3薄膜的性质变化。...
  • SiO2光学薄膜的吸收边特性

    SiO2光学薄膜的吸收边特性

    论文摘要二氧化硅(SiO2)是光学系统中最常用光学薄膜材料之一,其微观结构、缺陷等信息对于研究和提高薄膜的性能具有重要作用。本文通过电子束蒸发、离子辅助、磁控溅射方法制备SiO...