氟塑料卡盘论文

基于有限元方法氟塑料卡盘设计分析
论文摘要由于硫酸与双氧水混合溶液（SPM,Sulfuric-PeroxideMixture）具有极强的氧化和腐蚀性,一般材质的单片卡盘不再适用,氟塑料广泛应用于SPM工艺,但其...