高温共烧陶瓷内嵌电路论文

基于HTCC电路的MEMS复合同振型水听器设计
论文摘要矢量水听器是感知水下声信息的重要设备,基于MEMS微加工工艺研制了一种复合同振型矢量水听器,将MEMS矢量水听器芯片与压电陶瓷环在结构上组合在一起,能够同时拾取水下目标...