基体偏压论文

硬质合金涂层的内应力测定及其控制研究
论文摘要为了表征硬质合金工具涂层的内应力状态,利用阴极电弧法沉积制备各类单层和纳米多层硬质涂层,在不同的涂层偏压及反应气体分压的成膜条件下,制备具有不同内应力的涂层样品,我们采...
基体偏压对磁控溅射制备CrAlN薄膜摩擦学性能的影响
论文摘要通过分析不同基体偏压下磁控溅射(PVD)CrAlN薄膜的结构特征、硬度规律及磨痕形貌,研究基体偏压对CrAlN薄膜的结构、硬度及摩擦磨损性能的影响。借助扫描电子显微镜(...