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超精密高频响双行程快刀伺服加工装置论文和设计
全文摘要本实用新型提供一种超精密高频响双行程快刀伺服加工装置,包括:外壳组件、气浮导轨组件、第一音圈电机、第二音圈电机以及刀头组件;所述气浮导轨组件可前后滑动地设置于所述外壳组...