朗缪尔探针论文

ITER偏滤器朗缪尔探针的设计与研制进展
论文摘要对ITER偏滤器朗缪尔探针进行了物理需求分析和结构设计,确定了探针离偏滤器靶板瓦表面的高度范围。通过结构设计和模拟仿真,得到了探针在稳态热负载条件下的温度场分布和应力状...
正柱区朗缪尔探针诊断教学实验设计
论文摘要朗缪尔探针诊断教学实验结合等离子体物理学科发展特色,针对直流辉光放电正柱区,同时设计了朗缪尔单探针和双探针的诊断实验。实验原理清晰,实验现象明显,实验结果可靠。通过对单...
27.12MHz激发的容性耦合Ar/O2等离子体诊断研究
论文摘要高频驱动的容性耦合等离子体放电在半导体工业中有广泛的应用。本文采用朗缪尔探针和激光诱导光致剥离技术重点对27.12MHz射频驱动的容性耦合Ar/O2等离子体的特性进行了...