微电子机械系统论文

隔膜式压电驱动器的制备及其在微泵中的应用
论文摘要利用块材钛酸锆铅(PZT)材料的逆压电效应设计并制备了可用于微泵驱动的压电驱动器,通过5种结构模型的仿真分析确定了压电驱动器的隔膜式结构,在获取较大中心位移的同时有效提...
基于SOI的低横向灵敏度压阻式加速度计的设计
论文摘要提出了一种非同一平面的双弯曲梁的压阻式加速度计,在加速度作用下该结构梁的质心与质量块的质心对齐,从而实现低横向效应。利用SOLIDWORKS软件建立了结构模型,并用Co...
基于MEMS技术的颅压监测传感器的设计与制备
论文摘要颅内压力的监测对颅内疾病的诊断和治疗有重要的作用,基于硅的压阻效应,设计了一种可用于人体颅内压力监测的植入式压力传感器。根据压阻效应原理和薄板变形理论,完成了颅压传感器...
基于石墨烯复合薄膜的平面微电感
论文摘要石墨烯由于其独特的组成结构,具有极其优异的电学性能,基于石墨烯薄膜的电子器件越来越受到研究者的关注。通过将石墨烯与微型导电线圈结合,探究石墨烯对线圈微电感性能的影响。滴...