![微机电系统(MEMS)的简介及应用]()
论文摘要微机电系统(MEMS)是20世纪末21世纪初兴起的工程科学前沿,它涉及多学科的交叉,如物理学、现代光学、现代力学、化学、生物学等。微机电系统正在稳定快速地发展,将逐渐迈...
![基于MEMS的永磁球形电机转子位置检测方法研究]()
论文摘要为了实现对永磁球形电机运动的精准控制,需要准确快速地获取球形电机的转子位置信息,提出一种基于微机电系统（MEMS）姿态传感器的球形电机转子位置检测方法,该方法通过融合M...
![基于自适应遗传算法的MEMS加速度计快速标定方法]()
论文摘要微惯性测量单元(MIMU)的标定技术是低精度惯性导航领域中的重要研究方向,传统标定方法操作复杂,标定精度严重依赖转台精度。为解决大批量MIMU快速标定的问题,提出了一种...
![以介孔二氧化硅为固定相的高性能微色谱柱]()
论文摘要基于微机电系统（Micro-electro-mechanicalsystem,MEMS）技术设计制造了一种含有椭圆微柱阵列的半填充微色谱柱,此微色谱柱内壁以孔径约2nm...
![基于微机械加工工艺的声子晶体器件]()
论文摘要声子晶体是一种周期复合人工超材料。声子晶体具有独有的声学特性-声学禁带,使其在声波控制和传输领域具有极强的应用潜力。利用微机械加工工艺制备的硅基声子晶体器件,可在微机电...
![两自由度碰撞结构的压电MEMS能量采集器的设计与性能测试]()
论文摘要为克服传统压电能量采集器工作频带窄、输出性能低等问题,提出了一种两自由度碰撞式压电能量采集器结构,建立了其理论分析模型,并利用键合与减薄技术制备了以磷青铜为基底的高性能...
![一种微机电压力传感器以及电子设备论文和设计-E·杜奇]()
全文摘要本公开涉及一种微机电压力传感器以及电子设备。微机电压力传感器包括具有前表面的半导体材料的单片主体。感测结构被集成在单片主体中，并且具有在前表面处被完全地包含在单片主体内...
