谐振式加速度计论文

MEMS谐振式加速度计技术发展的研究
论文摘要目的深入了解谐振式加速度计研究过程中的关键技术问题,为后续的研究工作和实践应用提供指导。方法通过收集大量资料及数据分析,论述MEMS谐振式加速度计的国内外技术研究现状,...