压入位置论文

基于纳米压痕技术的光子晶体薄膜实验研究与有限元模拟
论文摘要采用垂直沉积自组装法制备了粒径为180nm的SiO2光子晶体薄膜,利用纳米压痕技术对其进行力学测试,采用ABAQUS软件对纳米压痕过程进行了仿真研究。结果表明:制备的光...